1 電機兩端和絲杠軸承座上的軸承磨損后間隙過大，或者軸承缺少潤滑脂后軸承滾動體和保持架磨損嚴重造成負載過重。軸承磨損后間隙過大會造成電機轉(zhuǎn)子中心和絲杠中心存在同軸度誤差，使機械系統(tǒng)產(chǎn)生抖動。軸承滾動體和保持架磨損嚴重會造成摩擦力增加,導致“堵轉(zhuǎn)”，在不至于導致“過載報警”的情況下，由于負載過重，會增加伺服系統(tǒng)的響應時間,從而產(chǎn)生振動。

2 電機轉(zhuǎn)子不平衡。電機轉(zhuǎn)子的動平衡制造時有缺陷或者長時間使用后質(zhì)量變差，就會產(chǎn)生形如“振動電機”一樣的振動源。

3 轉(zhuǎn)軸彎曲。轉(zhuǎn)軸彎曲的情況類似于轉(zhuǎn)子不平衡，除了會產(chǎn)生振動源之外，也會產(chǎn)生電機轉(zhuǎn)子中心和絲杠中心的同軸度誤差，使機械傳動系統(tǒng)產(chǎn)生抖動。

4 聯(lián)軸器制造缺陷或使用后磨損會造成聯(lián)軸器兩部分的同軸度誤差，特別是使用鑄造的剛性聯(lián)軸器，由于本身的制造精度差，更容易產(chǎn)生同軸度誤差導致振動。

5 導軌的平行度在制造時較差會導致伺服系統(tǒng)無法到達指定位置到無法停留在指定位置，這時伺服電機會不停的在努力尋找位置和系統(tǒng)反饋間徘徊，使電機連續(xù)的振動。

6 絲杠與導軌平面的平行度誤差。絲杠在安裝過程中與導軌所在平面有平行度誤差也會使電機由于負載不均勻產(chǎn)生振動。

7 絲杠彎曲。絲杠彎曲后絲杠除了受到軸向推力外還會受到變化的徑向力，彎曲大時徑向力大，彎曲小時徑向力小，同樣這種不應該存在的徑向力也會使機械傳動系統(tǒng)產(chǎn)生振動。